Habe es gestern doch noch hinbekommen.
Sierra und EC 10.11.6 haben sich nur mit Z97NWIFI_F7_Sierra_DSDT.rom installieren lassen.
Mit Z97NWIFI_OZ_167X.F7 und Z97NWIFI_OZ_167X_DSDT.F7 hat sich EC 10.11.6 wollte die Installation nicht booten > nur schwarzer Hintergrund mit weißem Apfel.
Ein weiteres Problem hatte ich auch noch, und zwar hatte ich meinen USB 3.0 Stick am 3.0 Port angeschlossen, was auch nicht funktioniert hat. Am 2.0 Port ging es dann.